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北方集成电路取得卡盘和晶圆电镀设备专利, 防止电镀液污染腐蚀晶圆
发布日期:2025-02-04 15:22:45 点击次数:178
金融界2025年2月1日消息,国家知识产权局信息显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司取得一项名为“卡盘和晶圆电镀设备”的专利,授权公告号CN222411961U,申请日期为2024年5月。
专利摘要显示,本申请提供一种卡盘,用于晶圆电镀设备,包括圆台状的卡盘主体,所述卡盘主体的顶面的面积大于所述卡盘主体的底面的面积;所述卡盘主体的顶面外侧沿周向设置阻挡部,所述阻挡部与所述卡盘主体一体化连接;以及所述卡盘主体的中心设置贯穿所述卡盘主体的开口,所述开口被配置为使晶圆的正面暴露至电解液。本申请还提供一种晶圆电镀设备。本申请提供卡盘和晶圆电镀设备,可以防止在电镀工艺中电镀液进入卡盘的内部污染和腐蚀晶圆。
天眼查资料显示,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司,成立于2017年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本20000万人民币,实缴资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司参与招投标项目22次,知识产权方面有商标信息6条,专利信息238条,此外企业还拥有行政许可122个。
本文源自:金融界
